Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip Dreiachsen Beschleunigungssensor aus Polysilizium

授与大学名・学位: Technische Universität Berlin. Fachbereich 11 Maschinenbau und Produktionstechnik

資料に関する注記

一般注記：: Technical University of Berlin. Mechanical and production engineering.

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資料種別: 博士論文
タイトル: Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip Dreiachsen Beschleunigungssensor aus Polysilizium
著者・編者: Beatrice Wenk.
著者標目: Wenk, Beatrice.
出版事項: Berlin : Technische Universität Berlin
出版年月日等: 1998.
数量: 2 Microfiches ( 135 fr.) : negative, ill.
授与機関名: Technische Universität Berlin. Fachbereich 11 Maschinenbau und Produktionstechnik
授与年月日: 1998.
授与年月日（W3CDTF）: 1998
学位論文注記: 博士論文
Thesis (doctoral) --Technische Universität Berlin, 1998.
出版地（国名コード）: DE
本文の言語コード: ger
資料種別（注記）: [microform]
一般注記: Technical University of Berlin. Mechanical and production engineering.
書誌注記: Includes bibliographies.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DIGBE-835
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003438731
http://id.ndl.go.jp/bib/000003438731
整理区分コード: 216