図書
| タイトル | 超微細加工技術 |
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| 著者 | 徳山巍 編著 |
| 著者標目 | 徳山, 巍, 1929- |
| シリーズ名 | 応用物理学シリーズ 専門コース |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | 東京 |
| 出版社 | オーム社 |
| 出版年月日等 | 1997.2 |
| 大きさ、容量等 | 309p ; 22cm |
| 注記 | 叢書の編者: 応用物理学会 |
| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| ISBN | 427402332X |
| 価格 | 6695円 (税込) |
| JP番号 | 97057913 |
| 出版年(W3CDTF) | 1997 |
| 件名（キーワード） | 集積回路 |
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| 件名（キーワード） | 半導体 |
| NDLC | ND386 |
| NDLC | ND371 |
| NDC（9版） | 549.7 : 電子工学 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 図書 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
