図書
| タイトル | 実用ドライエッチング技術 |
|---|---|
| 著者 | 菅原実 [編] |
| 著者標目 | 菅原, 実 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | 東京 |
| 出版社 | リアライズ社 |
| 出版年月日等 | 1992.7 |
| 大きさ、容量等 | 208p ; 27cm |
| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| ISBN | 4947655542 |
| 価格 | 46350円 (税込) |
| JP番号 | 93025912 |
| 出版年(W3CDTF) | 1992 |
| 件名（キーワード） | 半導体 |
| NDLC | ND371 |
| NDC(8版) | 549.8 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 図書 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
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請求記号：ND371-E136
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