図書
| 题名 | 半導体製造装置用語辞典 |
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| 著者 | 日本半導体製造装置協会 編 |
| 著者目录 | 日本半導体製造装置協会 |
| 出版地（国名编码） | JP |
| 出版地 | 東京 |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 |
| 出版年月日等 | 1991.9 |
| 大小，容量等 | 419p ; 22cm |
| ISBN | 4526029874 |
| 价格 | 4300円 (税込) |
| 日本全国书目号码 | 92000811 |
| 版 | 第2版 |
| 出版年(W3CDTF) | 1991 |
| 主题(关键字) | 半導体製造装置 |
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| NDLC | ND2 |
| NDLC | ND371 |
| NDC(8版) | 549.8 |
| 阅读对象 | 一般 |
| 资料的类别 | 図書 |
| 语言（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
