図書
| 타이틀 | 半導体製造装置用語辞典 |
|---|---|
| 책임표시 | 日本半導体製造装置協会 編 |
| 저자표목 | 日本半導体製造装置協会 |
| 출판 지명(국명 코드) | JP |
| 출판 지명 | 東京 |
| 출판사 | 日刊工業新聞社 |
| 출판 연월일 등 | 1991.9 |
| 크기, 용량 등 | 419p ; 22cm |
| ISBN | 4526029874 |
| 가격 | 4300円 (税込) |
| JP번호 | 92000811 |
| 판 | 第2版 |
| 출판 년도(W3CDTF) | 1991 |
| 건명(키워드) | 半導体製造装置 |
| NDLC | ND2 |
| NDLC | ND371 |
| NDC(8판) | 549.8 |
| 대상이용자 | 一般 |
| 자료 종별 | 図書 |
| 언어(ISO639-2 형식) | jpn : 日本語 |
