図書
| タイトル | 半導体製造装置用語辞典 |
|---|---|
| 著者 | 日本半導体製造装置協会 編 |
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | 東京 |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 |
| 出版年月日等 | 1991.9 |
| 大きさ、容量等 | 419p ; 22cm |
| ISBN | 4526029874 |
| 価格 | 4300円 (税込) |
| JP番号 | 92000811 |
| 版 | 第2版 |
| 出版年(W3CDTF) | 1991 |
| 件名（キーワード） | 半導体製造装置 |
| NDLC | ND2 |
| NDLC | ND371 |
| NDC(8版) | 549.8 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 図書 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
