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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 横谷 篤至
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Processings for ultra-thin films of nitrides utilizing the vacuum ultraviolet radiation
- タイトル（掲載誌）
- 化學工業
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(2) (通号 708) 2009.2
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 2