Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors (Special Issue: Solid State Devices & Materials)

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Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors(Special Issue: Solid State Devices & Materials)

国立国会図書館請求記号: Z53-A375
国立国会図書館書誌ID: 7895692

資料種別: 記事

著者: Tetsuo Tabeiほか

出版者: Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics

出版年: 2006-04

資料形態: デジタル

掲載誌名: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 45(4B) (通号 631) (Special Issue) 2006.4

掲載ページ: p.3498～3503

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors
著者・編者: Tetsuo Tabei
Kazuhiko Maeda
Shin Yokoyama 他
シリーズタイトル: Special Issue: Solid State Devices & Materials
著者標目: Tetsuo Tabei
Kazuhiko Maeda
Shin Yokoyama
タイトル（掲載誌）: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）: 45(4B) (通号 631) (Special Issue) 2006.4
掲載巻: 45
掲載号: 4B
掲載通号: 631
その他巻次: Special Issue
掲載ページ: 3498～3503
掲載年月日（W3CDTF）: 2006-04
ISSN（掲載誌）: 0021-4922
ISSN-L（掲載誌）: 0021-4922
出版事項（掲載誌）: Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: optical interconnection
optical waveguide
fluorinated polyimide
spin-on-glass
MOS capacitor
charging damage
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
遠隔複写可否（NDL）: 可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z53-A375
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11226701
https://dl.ndl.go.jp/pid/11226701
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7895692
http://id.ndl.go.jp/bib/7895692
整理区分コード: 632