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資料種別 記事・論文

Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors

Tetsuo Tabei,Kazuhiko Maeda,Shin Yokoyama 他

詳細情報

タイトル Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors
著者 Tetsuo Tabei
著者 Kazuhiko Maeda
著者 Shin Yokoyama 他
シリーズ名 Special Issue: Solid State Devices & Materials
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2006-04
件名(キーワード) optical interconnection
件名(キーワード) optical waveguide
件名(キーワード) fluorinated polyimide
件名(キーワード) spin-on-glass
件名(キーワード) MOS capacitor
件名(キーワード) charging damage
NDLC ZM35
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSN-L形式) 00214922
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 45
掲載巻 Special Issue
掲載号 4B
掲載通号 631
掲載ページ 3498~3503
言語(ISO639-2形式) eng : English

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