Investigation and Modeling of Stress Interactions on 90nm Silicon on Insulator Complementary Metal Oxide Semiconductor by Various Mobility Enhancement Approaches (Special Issue: Solid State Devices & Materials)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Chien-Ting LinYean-Kuen FangWen-Kuan Yeh 他
- タイトル（掲載誌）
- Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 45(4B) (通号 631) (Special Issue) 2006.4
- 掲載巻
- 45
- 掲載号
- 4B
- 掲載通号
- 631