サイトメニューここからこのページの先頭です

ショートカットキーの説明を開始します。画面遷移や機能実行は、説明にあるショートカットキーを同時に押した後、Enterキーを押してください。ショートカットキーの説明を聞くには、Alt+0。トップ画面の表示には、Alt+1。ログインを行うには、Alt+2。簡易検索画面の表示には、Alt+3。詳細検索画面の表示には、Alt+4。障害者向け資料検索画面の表示には、Alt+5。検索結果の並び替えを行うには、Alt+6。国立国会図書館ホームページの表示には、Alt+7。検索結果の絞り込みを行うには、Alt+8。以上でショートカットキーの説明を終わります。

ナビゲーションここから

ナビゲーションここまで

本文ここから

資料種別 記事・論文

リソグラフィーの最近の話題--ナノリソグラフィーの実現に向けて

古澤 孝弘,田川 精一

詳細情報

タイトル リソグラフィーの最近の話題--ナノリソグラフィーの実現に向けて
著者 古澤 孝弘
著者 田川 精一
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2005
件名(キーワード) nanolithography
件名(キーワード) electron beam
件名(キーワード) EUV
件名(キーワード) ultimate resolution
NDLC ZP2
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000021704-00
掲載誌情報(ISSN形式) 02866722
掲載誌情報(ISSN-L形式) 02866722
掲載誌名 放射線化学 = Radiation chemistry
掲載号 79
掲載ページ 3~8
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

本文ここまで

Copyright © 2012 National Diet Library. All Rights Reserved.

フッター ここまで