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資料種別 記事・論文

高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術

嵯峨 幸一郎,国安 仁,服部 毅

詳細情報

タイトル 高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術
著者 嵯峨 幸一郎
著者 国安 仁
著者 服部 毅
シリーズ名 特集 プロセスクリーン化と新プロセス技術
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2003-10-21
件名(キーワード) 表面張力
件名(キーワード) 応力
件名(キーワード) Cleaning
件名(キーワード) Fine structure
件名(キーワード) Surface Tension
件名(キーワード) Stress
件名(キーワード) High aspect ratio
件名(キーワード) Stiction
NDLC ZN33
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09135685
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
掲載巻 103
掲載号 374
掲載ページ 15~20
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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