Thermal Desorption Behavior of AlF3 Formed on Al2O3
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Morimichi WatanabeTakashi IidaKeijiro Akiyama 他
- タイトル（掲載誌）
- Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(6B) (通号 391) 2003.6.15
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 6B
- 掲載通号
- 391
- 掲載ページ
- L680～682