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資料種別 記事・論文

Thermal Desorption Behavior of AlF3 Formed on Al2O3

Morimichi Watanabe,Takashi Iida,Keijiro Akiyama 他

詳細情報

タイトル Thermal Desorption Behavior of AlF3 Formed on Al2O3
著者 Morimichi Watanabe
著者 Takashi Iida
著者 Keijiro Akiyama 他
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2003-06-15
件名(キーワード) aluminum fluoride
件名(キーワード) time-of-flight distribution
件名(キーワード) quadrupole mass spectrometer
件名(キーワード) aluminum subfluoride
件名(キーワード) sublimation
NDLC ZM35
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159720-00
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSN-L形式) 00214922
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters
掲載巻 42
掲載号 6B
掲載通号 391
掲載ページ L680~682
言語(ISO639-2形式) eng : English

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