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展望 精密加工・計測における環境制御管理技術の課題 (特集 超精密加工・計測を支える環境制御技術)

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展望 精密加工・計測における環境制御管理技術の課題(特集 超精密加工・計測を支える環境制御技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
6290139
資料種別
記事
著者
沢辺 雅二
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2002-09
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 68(9) (通号 813) 2002.9
掲載ページ
p.1137~1143
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
沢辺 雅二
著者標目
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
68(9) (通号 813) 2002.9
掲載巻
68
掲載号
9
掲載通号
813