記事・論文
タイトル | 位相変調型微分干渉顕微鏡を用いた高精度段差計測 |
---|---|
著者 | 石渡 裕 |
シリーズ名 | 特集 最近の光計測検査技術 |
出版地(国名コード) | JP |
出版年(W3CDTF) | 2001-12 |
NDLC | ZN33 |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(URI形式) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043191-00 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 09115943 |
掲載誌情報(ISSN-L形式) | 09115943 |
掲載誌名 | O plus E : Optics + electronics |
掲載巻 | 23 |
掲載号 | 12 |
掲載通号 | 265 |
掲載ページ | 1455~1459 |
言語(ISO639-2形式) | jpn : 日本語 |