微細化するシステムL...

微細化するシステムLSI向け低衝撃・高速微小バンプ形成技術 (特集 生産技術--21世紀「超・製造業」の実現に向けて ; 超微細加工技術)

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微細化するシステムLSI向け低衝撃・高速微小バンプ形成技術

(特集 生産技術--21世紀「超・製造業」の実現に向けて ; 超微細加工技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-428
国立国会図書館書誌ID
5798983
資料種別
記事
著者
米澤 隆弘ほか
出版者
守口 : 松下電器産業コーポレートR&D戦略室
出版年
2001-06
資料形態
掲載誌名
Matsushita technical journal 47(3) 2001.6
掲載ページ
p.205~209
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
米澤 隆弘
清村 浩之
光本 豊
タイトル(掲載誌)
Matsushita technical journal
巻号年月日等(掲載誌)
47(3) 2001.6
掲載巻
47
掲載号
3
掲載ページ
205~209