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資料種別 記事・論文

微細化するシステムLSI向け低衝撃・高速微小バンプ形成技術

米澤 隆弘,清村 浩之,光本 豊

詳細情報

タイトル 微細化するシステムLSI向け低衝撃・高速微小バンプ形成技術
著者 米澤 隆弘
著者 清村 浩之
著者 光本 豊
シリーズ名 特集 生産技術--21世紀「超・製造業」の実現に向けて ; 超微細加工技術
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2001-06
NDLC ZN31
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000103069-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13439529
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13439529
掲載誌名 Matsushita technical journal
掲載巻 47
掲載号 3
掲載ページ 205~209
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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