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資料種別 記事・論文

速報 ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による固体電解質型燃料電池の作製--ヘリコン波励起プラズマのエネルギー制御

森本 克己,岡山 英夫,長田 昭義

詳細情報

タイトル 速報 ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による固体電解質型燃料電池の作製--ヘリコン波励起プラズマのエネルギー制御
著者 森本 克己
著者 岡山 英夫
著者 長田 昭義
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2001-05
NDLC ZN15
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964-00
掲載誌情報(ISSN形式) 05598516
掲載誌情報(ISSN-L形式) 05598516
掲載誌名 真空
掲載巻 44
掲載号 5
掲載ページ 539~543
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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