解説 高周波放電プラズマを利用した高速スパッタ装置
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山下 睦雄
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(5) 2001.5
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 512～519
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001-05