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資料種別 記事・論文

マイクロカンチレバーの曲げ応力の推定(マクロモデルによる測定原理の検討)

新井 泰彦,横関 俊介

詳細情報

タイトル マイクロカンチレバーの曲げ応力の推定(マクロモデルによる測定原理の検討)
著者 新井 泰彦
著者 横関 俊介
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2001-04
件名(キーワード) Shape measurement
件名(キーワード) Optical measurement
件名(キーワード) spatial fringe analysis
件名(キーワード) micro machine
件名(キーワード) moire topography
件名(キーワード) FEM
件名(キーワード) stress analysis
件名(キーワード) micro fizeau interferometer
NDLC ZN11
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000031920-00
掲載誌情報(ISSN形式) 03875024
掲載誌情報(ISSN-L形式) 03875024
掲載誌名 日本機械学会論文集. C編
掲載巻 67
掲載号 656
掲載ページ 1016~1023
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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