シリコン融液表面のアルゴンガス流れと単結晶中の酸素濃度 (小特集 バルク成長分科会特集--結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 町田 倫久干川 圭吾清水 保雄
- タイトル（掲載誌）
- 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 27(5) 2000
- 掲載巻
- 27
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 275～280