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資料種別 記事・論文

Effective KOH Etching Prior to Modified Secco Etching for Analyzing Defects in Thin Bonded Silicon on Insulator(SOI)Wafers

Kiyoshi Mitani,Hiroji Aga,Masatake Nakano

詳細情報

タイトル Effective KOH Etching Prior to Modified Secco Etching for Analyzing Defects in Thin Bonded Silicon on Insulator(SOI)Wafers
著者 Kiyoshi Mitani
著者 Hiroji Aga
著者 Masatake Nakano
シリーズ名 Solid State Devices and Materials
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 1997-03
NDLC ZM35
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSN-L形式) 00214922
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 36
掲載号 3B
掲載ページ 1646~1649
言語(ISO639-2形式) eng : English

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