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雑誌Japanese journal of applied physics Part. 1 Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号Part. 1 Part. 1 36(2)(455);FEBRUARY 1997
記事Defect Cha...

Defect Characterization of Sputter Deposited Au Contacts on N-Type Si1-xGex

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CiNii Research

Defect Characterization of Sputter Deposited Au Contacts on N-Type Si1-xGex

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
4176212
資料種別
記事
著者
Stewart A. Goodmanほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
1997-02
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 36(2) 1997.02
掲載ページ
p.633～637
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資料詳細

要約等：

Sputter deposition of metal Schottky contacts on semiconductors creates damage at and below the surface, often resulting in inferior rectification pro...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
Defect Characterization of Sputter Deposited Au Contacts on N-Type Si1-xGex
著者・編者
Stewart A. Goodman
F.D. Auret
著者標目
Stewart A. Goodman
F.D. Auret
タイトル（掲載誌）
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）
36(2) 1997.02
掲載巻
36
掲載号
2
掲載ページ
633～637
掲載年月日（W3CDTF）
1997-02