記事・論文
| タイトル | メタンーモノシラン混合ガス系におけるACプラズマの発光分光分析 |
|---|---|
| 著者 | 清水 秀己 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 注記 | 記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス |
| 出版年(W3CDTF) | 1993-02 |
| NDLC | ZV1 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000000720-00 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 03887367 |
| 掲載誌情報（ISSN-L形式） | 03887367 |
| 掲載誌名 | 愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学 |
| 掲載通号 | 42 |
| 掲載ページ | p83～90 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
