X線光電子分光法にお...

X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価

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X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価

国立国会図書館請求記号
Z17-9
国立国会図書館書誌ID
3810483
資料種別
記事
著者
飯島 善時ほか
出版者
東京 : 日本分析化学会
出版年
1993-03
資料形態
デジタル
掲載誌名
分析化学 / 日本分析化学会 編 42(3) 1993.03
掲載ページ
p.p133~140
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資料詳細

要約等:

X線光電子分光法(XPS)を用いて,C 1sスペクトルの形状解析より,ダイヤモンド薄膜の解析評価を試みた.その結果C 1sスペクトルの半値幅,ピークの対称性の解析より,XPSがダイヤモンド薄膜の評価,及び膜の構造解析に有効な分析法であることを明らかにした.(提供元: CiNii Research)

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
飯島 善時
平岡 賢三
タイトル(掲載誌)
分析化学 / 日本分析化学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
42(3) 1993.03
掲載巻
42
掲載号
3
掲載ページ
p133~140
掲載年月日(W3CDTF)
1993-03