位相シフト干渉法による非接触表面粗さ測定--(米)WYKO社製TOPO表面粗さ計 (オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術 ; 超精密切削面測定装置(付属資料))
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 深江 秀和
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 臨時増刊) 1991.09
- 掲載通号
- 臨時増刊
- 掲載ページ
- p299～307
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1991-09