反応性2成分スパッタリングによる(Ti,Al)N膜の作製
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高谷 松文松永 正久
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 41(5) 1990.05
- 掲載巻
- 41
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- p530～533
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1990-05