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資料種別 記事・論文

反応性2成分スパッタリングによる(Ti,Al)N膜の作製

高谷 松文,松永 正久

詳細情報

タイトル 反応性2成分スパッタリングによる(Ti,Al)N膜の作製
著者 高谷 松文
著者 松永 正久
出版地(国名コード) JP
注記 記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス
出版年(W3CDTF) 1990-05
NDLC ZP41
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000066619-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09151869
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09151869
掲載誌名 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
掲載巻 41
掲載号 5
掲載ページ p530~533
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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