衝撃波蒸着法により生成されたTiとTiN薄膜の特性
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 江角 弘道 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 広島電機大学・広島自動車工業短期大学研究報告 = Memoirs of Hiroshima-Denki Institute of Technology and Hiroshima Junior College of Automotive Engineering / 広島電機大学, 広島自動車工業短期大学 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 22) 1989.12
- 掲載通号
- 22
- 掲載ページ
- p23～30
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1989-12
- ISSN（掲載誌）
- 0286-0562