硬質炭素薄膜の形成と応用 (広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセスー6-)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 菅井 秀郎
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 核融合研究 : プラズマ・核融合学会誌 / プラズマ・核融合学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57(6) 1987.06
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- p412～419