LSIのマイクロ接合...

LSIのマイクロ接合に関する基礎的研究--LSIのAu-Al接合における初期欠陥

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LSIのマイクロ接合に関する基礎的研究--LSIのAu-Al接合における初期欠陥

国立国会図書館請求記号
Z15-317
国立国会図書館書誌ID
3155058
資料種別
記事
著者
中根 守久ほか
出版者
大阪 : 高温学会
出版年
1987-11
資料形態
掲載誌名
高温学会誌 = Journal of High Temperature Society 13(6) 1987.11
掲載ページ
p.p248~255
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
中根 守久
大森 明
荒田 吉明
タイトル(掲載誌)
高温学会誌 = Journal of High Temperature Society
巻号年月日等(掲載誌)
13(6) 1987.11
掲載巻
13
掲載号
6
掲載ページ
p248~255
掲載年月日(W3CDTF)
1987-11