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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 石井 博 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 30(12) 1987.12
- 掲載巻
- 30
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- p916～930