プラズマ重合による有機薄膜 (身近になったCVD技術<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 吉田 泰彦柏木 邦宏村山 洋一
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 化學工業
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 38(10) 1987.10
- 掲載巻
- 38
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- p846～850,879