反応性ニュートラルビームスパッタ法による酸化タンタル薄膜の作製--N2ガス添加効果 (第27回真空に関する連合講演会プロシーディングス--昭和61年11月12日～14日,大阪)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大岩 恒美 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 30(5) 1987.05
- 掲載巻
- 30
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- p504～507