交流エッチング後の静電容量に及ぼす高純度アルミニウム箔中の微量添加元素の影響
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福岡 潔倉橋 正晴
- タイトル（掲載誌）
- 住友軽金属技報 = Sumitomo light metal technical reports
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 28(1) 1987.01
- 掲載巻
- 28
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- p7～14
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1987-01