放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点 (低温プラズマ特集号)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 浦本 上進 解説
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 28(4) 1985.04
- 掲載巻
- 28
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- p222～228