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資料種別 記事・論文

放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点

浦本 上進 解説

詳細情報

タイトル 放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点
著者 浦本 上進 解説
シリーズ名 低温プラズマ特集号
出版地(国名コード) JP
出版地東京
出版社日本真空協会
出版年月日等 28(4) 1985.04
出版年(W3CDTF) 1985-04
NDLC ZN15
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964-00
掲載誌情報(ISSN形式) 05598516
掲載誌情報(ISSN-L形式) 05598516
掲載誌名 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
掲載巻 28
掲載号 4
掲載ページ p222~228
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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