記事・論文
| タイトル | ARUPS装置の改良と金属蒸着膜研究への応用(速報) |
|---|---|
| 著者 | 名井 一展 他 |
| シリーズ名 | 第25回真空に関する連合講演会プロシーディングス--昭和59年10月29日～31日 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | 東京 |
| 出版社 | 日本真空協会 |
| 出版年月日等 | 28(5) 1985.05 |
| 注記 | 記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器 |
| 出版年(W3CDTF) | 1985-05 |
| NDLC | ZN15 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964-00 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 05598516 |
| 掲載誌情報（ISSN-L形式） | 05598516 |
| 掲載誌名 | 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan |
| 掲載巻 | 28 |
| 掲載号 | 5 |
| 掲載ページ | p279～281 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
