記事・論文
| 题名 | スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作 |
|---|---|
| 著者 | 山本 稔 |
| 著者 | 岡本 孝太郎 |
| 著者 | 今井 哲二 |
| 出版地（国名编码） | JP |
| 出版地 | 調布 |
| 出版社 | 電気通信大学 |
| 出版年月日等 | 35(1) 1984.08 |
| 附注 | 記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路 |
| 出版年(W3CDTF) | 1984-08 |
| NDLC | ZV1 |
| 阅读对象 | 一般 |
| 资料的类别 | 記事・論文 |
| 刊载杂志的信息 (URI形式) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015763-00 |
| 刊载杂志的信息 (ISSN形式) | 04934253 |
| 刊载杂志的信息 (ISSN-L形式) | 04934253 |
| 刊载杂志名 | 電気通信大学学報 / 電気通信大学 編 |
| 刊载卷 | 35 |
| 刊载号 | 1 |
| 刊载页 | p7～12 |
| 语言（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
