記事・論文
| 타이틀 | スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作 |
|---|---|
| 책임표시 | 山本 稔 |
| 책임표시 | 岡本 孝太郎 |
| 책임표시 | 今井 哲二 |
| 출판 지명(국명 코드) | JP |
| 출판 지명 | 調布 |
| 출판사 | 電気通信大学 |
| 출판 연월일 등 | 35(1) 1984.08 |
| 주기 | 記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路 |
| 출판 년도(W3CDTF) | 1984-08 |
| NDLC | ZV1 |
| 대상이용자 | 一般 |
| 자료 종별 | 記事・論文 |
| 게재지 정보. (URI 형식) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015763-00 |
| 게재지 정보. (ISSN 형식) | 04934253 |
| 게재지 정보. (ISSN-L 형식) | 04934253 |
| 게재지명 | 電気通信大学学報 / 電気通信大学 編 |
| 게재 권 | 35 |
| 게재 호 | 1 |
| 게재 페이지 | p7～12 |
| 언어(ISO639-2 형식) | jpn : 日本語 |
