記事・論文
| Title | スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作 |
|---|---|
| Author | 山本 稔 |
| Author | 岡本 孝太郎 |
| Author | 今井 哲二 |
| Place of Publication (Country Code) | JP |
| Place of Publication | 調布 |
| Publisher | 電気通信大学 |
| Date | 35(1) 1984.08 |
| Description | 記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路 |
| Year of Publication(W3CDTF) | 1984-08 |
| NDLC | ZV1 |
| Target Audience | 一般 |
| Material Type | 記事・論文 |
| is part of (URI Form) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015763-00 |
| is part of (ISSN Form) | 04934253 |
| is part of (ISSN-L Form) | 04934253 |
| Magazine-which-carries-the-article name | 電気通信大学学報 / 電気通信大学 編 |
| Printing volume | 35 |
| Printing number | 1 |
| Printing page | p7～12 |
| Language（ISO639-2 Form) | jpn : 日本語 |
