金蒸着膜における内部...

金蒸着膜における内部応力の発生から緩和に至る過程

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金蒸着膜における内部応力の発生から緩和に至る過程

国立国会図書館請求記号
Z22-35
国立国会図書館書誌ID
2980210
資料種別
記事
著者
三谷 英機
出版者
阿南 : 阿南工業高等専門学校
出版年
1984-03
資料形態
掲載誌名
阿南工業高等専門学校研究紀要 / 阿南工業高等専門学校 編 (通号 20) 1984.03
掲載ページ
p.p59~65
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
三谷 英機
著者標目
タイトル(掲載誌)
阿南工業高等専門学校研究紀要 / 阿南工業高等専門学校 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 20) 1984.03
掲載通号
20
掲載ページ
p59~65
掲載年月日(W3CDTF)
1984-03
ISSN(掲載誌)
0570-006X