巻号(63)
回折光干渉を利用した...

回折光干渉を利用した表面パターンの計測

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回折光干渉を利用した表面パターンの計測

国立国会図書館請求記号
Z14-163
国立国会図書館書誌ID
2298893
資料種別
記事
著者
服部 肇
出版者
名古屋 : 名古屋市工業研究所
出版年
1981
資料形態
デジタル
掲載誌名
名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編 (通号 63) 1981
掲載ページ
p.p17~20
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
服部 肇
著者標目
タイトル(掲載誌)
名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 63) 1981
掲載通号
63
掲載ページ
p17~20
掲載年月日(W3CDTF)
1981
ISSN(掲載誌)
0369-3333