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資料種別 記事・論文

フラットパネルの欠陥修正装置用塗布機構一体型リニアチェンジャの開発

山中 昭浩,松島 昌良

詳細情報

タイトル フラットパネルの欠陥修正装置用塗布機構一体型リニアチェンジャの開発
著者 山中 昭浩
著者 松島 昌良
シリーズ名 要素技術特集号 ; 精機商品
出版地(国名コード) JP
別タイトル Development of linear changer with built-in pasting unit for defect repair system of flat panels
出版年(W3CDTF) 2008-10
NDLC ZN11
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
関連資料(URI形式) http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/11162326
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000062486-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09150528
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09150528
掲載誌名 NTN technical review
掲載号 76
掲載ページ 136~141
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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