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資料種別 記事・論文

パーフルオロ化合物(PFCs)対応燃焼分解技術

渋谷 和信,小林 芳彦,渡邊 信昭

詳細情報

タイトル パーフルオロ化合物(PFCs)対応燃焼分解技術
著者 渋谷 和信
著者 小林 芳彦
著者 渡邊 信昭
シリーズ名 小特集 パーフルオロ化合物(PFCs)利用機器の動向とその排出防止技術
出版地(国名コード) JP
別タイトル Combustion abatement technology for perfluoro compounds reduction
出版年(W3CDTF) 2009-07
NDLC ZN15
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226-00
掲載誌情報(ISSN形式) 18822398
掲載誌情報(ISSN-L形式) 18822398
掲載誌名 Journal of the Vacuum Society of Japan
掲載巻 52
掲載号 7
掲載ページ 388~392
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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