記事・論文
| タイトル | 自在計測制御技術 微小液体流量の計測を可能にする熱式液体微小流量計の開発 |
|---|---|
| 著者 | 小田 康彦 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 別タイトル | Technology and Features of a Thermal Flowmeter for Liquid Microflows |
| 出版年(W3CDTF) | 2019-04 |
| 件名（キーワード） | 微小流量計測 |
| 件名（キーワード） | 熱式 |
| 件名（キーワード） | MEMSセンサ |
| 件名（キーワード） | 高精度 |
| 件名（キーワード） | 実流評価 |
| NDLC | ZM11 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008477967-00 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 18819699 |
| 掲載誌情報（ISSN-L形式） | 18819699 |
| 掲載誌名 | azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書 |
| 掲載号 | 60 |
| 掲載ページ | 48-52 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
