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資料種別 記事・論文

単結晶ダイヤモンド基板上へ合成したCVDホウ素ドープダイヤモンドの構造評価

佐久間 友也,坂本 幸弘

詳細情報

タイトル 単結晶ダイヤモンド基板上へ合成したCVDホウ素ドープダイヤモンドの構造評価
著者 佐久間 友也
著者 坂本 幸弘
出版地(国名コード) JP
別タイトル Structural Evaluation of the CVD Boron Doped Diamond Synthesized on the Single Crystal Diamond Substrate
出版年(W3CDTF) 2018
件名(キーワード) Single crystal growth
件名(キーワード) Boron doped diamond
件名(キーワード) Inductively coupled plasma
件名(キーワード) Plasma etching
件名(キーワード) Laser cutting
NDLC ZM16
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000412729-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13474774
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13474774
掲載誌名 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌
掲載巻 55
掲載号 3
掲載通号 315
掲載ページ 111-115
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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