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資料種別 記事・論文

Pd系金属ガラスを用いた高速応答・低消費電力容量型MEMS水素センサに関するレビュー

山﨑 宏明,林 裕美,増西 桂,小野 大騎,池橋 民雄

詳細情報

タイトル Pd系金属ガラスを用いた高速応答・低消費電力容量型MEMS水素センサに関するレビュー
著者 山﨑 宏明
著者 林 裕美
著者 増西 桂
著者 小野 大騎
著者 池橋 民雄
シリーズ名 特集 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文
出版地(国名コード) JP
別タイトル A Review of Capacitive MEMS Hydrogen Sensor using Pd based Metallic Glass with Fast Response and Low Power Consumption
出版年(W3CDTF) 2018-07
件名(キーワード) 水素社会
件名(キーワード) 水素センサ
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) 容量型
件名(キーワード) Pd系金属ガラス
件名(キーワード) hydrogen society
件名(キーワード) hydrogen sensor
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) capacitive
件名(キーワード) Pd based metallic glass
NDLC ZN31
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13418939
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 138
掲載号 7
掲載ページ 312-318
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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