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資料種別 記事・論文

スクイーズフィルムダンピング抵抗の制御によるMEMSマイクロフォンの高SNR化

井上 匡志,内田 雄喜,石本 浩一,堀本 恭弘

詳細情報

タイトル スクイーズフィルムダンピング抵抗の制御によるMEMSマイクロフォンの高SNR化
著者 井上 匡志
著者 内田 雄喜
著者 石本 浩一
著者 堀本 恭弘
シリーズ名 特集 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文
出版地(国名コード) JP
別タイトル Optimized Design of Squeeze-film Damping Toward High SNR MEMS Microphone
出版年(W3CDTF) 2018-07
件名(キーワード) スクイーズフィルムダンピング
件名(キーワード) マイクロフォン
件名(キーワード) 等価回路
件名(キーワード) 熱雑音
件名(キーワード) 静電容量型センサ
件名(キーワード) Squeeze-film damping
件名(キーワード) microphone
件名(キーワード) equivalent circuit
件名(キーワード) thermal noise
件名(キーワード) capacitive sensor
NDLC ZN31
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13418939
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 138
掲載号 7
掲載ページ 301-306
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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