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資料種別 記事・論文

高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ

丹羽 英二

詳細情報

タイトル 高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ
著者 丹羽 英二
シリーズ名 特集 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文
出版地(国名コード) JP
別タイトル Stable High Gauge Factor of Cr-Al-N Thin Film Strain Sensor in High Temperature Range
出版年(W3CDTF) 2018-07
件名(キーワード) Cr-Al-N薄膜
件名(キーワード) ひずみセンサ
件名(キーワード) ゲージ率
件名(キーワード) 高温
件名(キーワード) 感度温度係数
件名(キーワード) Cr-Al-N thin film
件名(キーワード) strain sensor
件名(キーワード) gauge factor
件名(キーワード) high temperature
件名(キーワード) temperature coefficient of sensitivity
NDLC ZN31
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13418939
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 138
掲載号 7
掲載ページ 294-300
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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